精工愛普生集團（以下簡稱為“愛普生”）本次將慣性測量單元(*1)（Inertial Measurement Unit，以下縮略為：“IMU”）“S4E5A0A0”商品化，并將于2011年7月開始提供樣品。IMU S4E5A0A0具有世界最小等級的外形尺寸和低耗電，還實現了高精度、高穩定的測試性能。

IMU可以正確檢測出從微小的傾斜到大范圍動作為止的慣性運動信息。之前，IMU通常被用于航空、航天等領域的專用設備及其它需要高精度、高穩定的慣性運動測量中。近年也開發出了針對工業領域的IMU，逐漸開始用于各種工業產品中，預計今后該市場將不斷擴大。在這初露頭角的市場中，為了便于嵌入產品，要求IMU既提高精度與穩定性，又進一步實現小型化和低耗電。

為此，在石英元器件行業一直保持著領先地位的愛普生以獨創科技推進新IMU的開發工作。該技術融合了使用愛普生所擅長的石英精微加工技術“QMEMS(*2)”開發的石英陀螺儀（角速度）傳感器(*3)，以及在GPS等定位信息元器件中積累的半導體技術經驗。

這次，愛普生將具有世界最小等級的外形尺寸（24x24x10mm）和低耗電（電源電壓為3.3V的條件下為30mA）以及高精度、高穩定測試性能的IMU“S4E5A0A0”商品化。

IMU“S4E5A0A0”搭載了由±300deg/s的高精度、高穩定三軸陀螺儀傳感器及±3G的三軸加速度傳感器組合而成的六軸傳感器，在角速度的測試性能上實現了0.24 deg/sqrt(h)的角度隨機游走與6 deg/h的零偏穩定性(*6)。而且，IMU“S4E5A0A0”還采用了SPI和UART的工業領域標準接口。

本次推出的IMU適用于工業領域中慣性運動的分析和控制、動作的分析和控制、移動體的控制、振動控制與穩定化以及導航系統等。基于其具備的小型、輕量及低耗電性能，與以前的IMU相比更提高了使用IMU產品的設計自由度，還可以推廣到至今為止難以使用的工業領域的更多的產品中去。
 

在“SE15”企業長期經營方針中，愛普生將測試時間、壓力或角速度等的傳感領域指定為有極具成長前景的重要事業領域。今后，愛普生仍將以石英原料的“QMEMS”技術為核心，進一步融合愛普生擁有的半導體與軟件技術，提供涉及多方面的產品、模塊與系統等元器件方案，為顧客提供放心、安全及方便使用的產品。

■IMU“S4E5A0A0”的特征
①小型、輕量
　外形尺寸：24x24x10mm，本體重量：7g
②低耗電
　30mA（電源電壓為3.3V時）
③高精度、高穩定的測試性能
搭載了由±300deg/s的三軸陀螺儀傳感器及±3G的三軸加速度傳感器組合而成的六軸傳感器，從而實現了以下性能：
　　?角度隨機游走 ：0.24 deg/sqrt(h)
　　?陀螺零偏穩定性 ：6 deg/h
　　?零點偏置誤差 ：±0.5 deg/s
④多彩的數字串行接口
　標準裝配SPI/UART

【術語說明】
（*1） 慣性測量單元（IMU）
由三軸的角速度傳感器和三方向的加速度傳感器組成的測試慣性動量的裝置，主要用于測試及控制運動體的動作。
（*2） QMEMS
“QMEMS”是具有高穩定、高精度等優越性能的石英材料“QUARTZ”和“MEMS”（精微加工技術）組合成的造詞。與以半導體為材料的MEMS相對應，以石英為原料進行精微加工后制成的小型、高性能石英晶體元器件被稱為“QMEMS”。
※“QMEMS”是愛普生拓優科夢公司（Epson Toyocom）的注冊商標。
（*3） 陀螺儀（角速度）傳感器
檢測物體在單位時間內針對基準軸轉動的角度（角速度）的傳感器。
（*4） 加速度傳感器
檢測單位時間內速度的變化量（加速度）的傳感器。
（*5） 角度隨機游走（Angle Random Walk）
指因角速度的白噪聲而引起的一定時間的角度誤差。
（*6） 陀螺的零偏穩定性（Gyro Bias Instability）
指用指定的有限采樣時間和時間間隔的平均計算得出的陀螺輸出偏壓的具有1/f的噪聲密度特征的不規則變量。