科創板正式開市交易的日期越來越近，科創板規則體系基本萬事具備，擬上市公司受理審核也在穩步推進，據了解，中微半導體設備（上海）股份有限公司（以下簡稱“中微半導體”）近日首次公開科創板上市招股說明書，擬募集資金100,000.00萬元用于高端半導體設備擴產升級、技術研發中心建設升級項目及補充流動資金等。

近年來，隨著持續旺盛的下游市場需求推動下，晶圓廠和LED芯片制造商擴產積極，景氣程度向設備類公司傳導，刻蝕設備、MOCVD設備行業整體呈現快速增長態勢。中微半導體在市場利好之勢中募資擴產，正是看好了半導體市場的未來前景，上市科創板助力企業快速發展。

中微半導體MOCVD設備研發技術過硬

據了解，中微半導體是一家以中國為基地、面向全球的高端半導體微觀加工設備公司，是我國集成電路設備行業的領先企業，聚焦用于集成電路、LED芯片等微觀器件領域的等離子體刻蝕設備、深硅刻蝕設備和MOCVD設備等關鍵設備的研發、生產和銷售。開發出與美國設備公司具有同等質量和相當數量的等離子體刻蝕設備并實現量產。

在薄膜沉積設備方面，2010年中微半導體開始開發用于LED器件加工中最關鍵的設備——MOCVD設備。目前已開發了三代MOCVD設備，該設備是一種高端薄膜沉積設備，主要用于藍綠光LED和功率器件等生產加工，包括第*代設備PrismoD-Blue、第二代設備PrismoA7及第三代更大尺寸設備。通過向全球領先的集成電路和LED芯片制造商提供極具競爭力的高端設備、工藝技術解決方案和高質量服務，幫助客戶提升技術水平、提高生產效率、降低生產成本。

如今，中微半導體的等離子體刻蝕設備已應用于國際先進的14納米、7納米和5納米生產線；開發的大型MOCVD設備逐步替代進口設備。截至2018年末，中微半導體累計已有1,100多個反應臺服務于國內外40余條先進芯片生產線。自主研發的MOCVD設備已被多家領先LED生產廠家使用和認可，據統計顯示，2018年中微半導體在全球氮化鎵基LEDMOCVD設備市場占據領先地位。

中微半導體的MOCVD設備研發、設計、生產、銷售業務集中在2017年12月15日的中微南昌，注冊資本2,500萬元，實收資本1,650萬元，發行人認繳出資2,500萬元，占注冊資本的100%。截至2018年12月31日，中微南昌的總資產為71,563.51萬元，凈資產為5,849.64萬元，2018年凈利潤為5,640.15萬元。

中微半導體基于在半導體制造設備產業多年積累的專業技術，涉足半導體集成電路制造、先進封裝、LED生產、MEMS制造以及其他微觀工藝的高端設備領域，瞄準世界科技前沿，堅持自主創新。該公司的等離子體刻蝕設備已在國際一線客戶從65納米到14納米、7納米和5納米的集成電路加工制造及先進封裝中有具體應用。該公司的MOCVD設備在行業領先客戶的生產線上大規模投入量產，公司已成為世界排名前列、國內占領先地位的氮化鎵基LED設備制造商。

資產規模與營收規模雙增長 LED設備成長突出

2016-2018年，中微半導體總資產規模分別為107,852.84萬元、227,602.14萬元和353,267.90萬元，營業收入分別為60,952.84萬元、97,192.06萬元和163,928.83萬元，年均復合增長率達64%，資產規模與營收規模均快速增長，成長性突出。

2016-2018年中微半導體業績數據

2017年度、2018年度營業收入同比增長分別為59.45%和68.66%，報告期內年均復合增長率為64.00%。

營業收入構成情況：

2016-2018年，中微半導體營業收入基本上來源于主營業務收入。2017年和2018年，主營業務收入分別為97,164.56萬元、163,882.27萬元，分別較上年度增長59.41%和68.66%。

主營業務收入按產品分類情況：

中微半導體的半導體專用設備收入逐年增長，2016-2018年，專用設備業務收入分別為48,803.93萬元、82,580.62萬元和139,767.14萬元，占主營業務收入的比例分別為80.07%、84.99%和85.29%。

專用設備收入構成情況：

中微半導體的專用設備主要為刻蝕設備和MOCVD設備。2016-2018年，中微半導體的刻蝕設備、MOCVD 設備的合計銷售收入分別為48,593.68萬元、81,927.81萬元和139,767.14萬元，占專用設備銷售收入的比例分別為99.57%、99.21%和100.00%。其他設備收入為VOC設備的銷售收入。

主營業務收入的地區構成情況：

中微半導體的產品銷售主要集中在大陸地區和臺灣地區，2016-2018年，來自中國大陸和中國臺灣合計的銷售收入占主營業務收入的比例分別為88.98%、95.38%和95.35%。中微半導體來源于中國大陸地區的收入快速增長，占營業收入的比例也迅速從2016年的57.43%提升至2018年的83.89%，主要原因為：（1）公司2017年度成功推出Prismo A7設備并迅速占領國內市場，據統計數據顯示，2018年中微半導體在全球氮化鎵基LED MOCVD設備市場已占據領先地位；（2）2018年大陸地區客戶投資規模擴大，對刻蝕設備的需求也大幅回升。

主營業務毛利構成情況：

隨著經營規模擴大，中微半導體主營業務毛利逐年增加，2016-2018年，主營業務毛利分別為25,916.06萬元、37,491.72萬元和58,178.07萬元，2017年和2018年分別較上年度增長44.67%和55.18%，呈逐年增長趨勢。主營業務毛利主要來源于專用設備和備品備件。

毛利率變動及收入占比情況：

2016-2018年，中微半導體主營業務毛利率分別為42.52%、38.59%和35.50%，2017年公司主營業務毛利率同比下降3.93個百分點，主要系2017年刻蝕設備毛利率降低所致；2018年公司主營業務毛利率同比下降3.09個百分點，主要系MOCVD設備毛利率下降所致。

中微半導體近三年累計研發投入為10.37億元，約占營業收入的32%，保持較高強度的自主創新研發投入。自設立至2019年2月末，共申請了1,201項專利，其中發明專利1,038項，海外發明專利465項；已獲授權專利951項，其中發明專利800項。

中微半導體自成立以來先后承擔了多項國家重大科研項目，2016-2018年計入當期損益的政府補助金額分別為11,589.26萬元、11,687.56萬元、16,982.95萬元。

2016-2018年，中微半導體發出商品賬面價值分別為12,630.90萬元、39,876.94萬元和59,363.48萬元，占存貨賬面總價值的比例分別為38.20%、44.63%和47.58%，賬面價值相對較高，且隨業務發展逐年增加。

隨著經營規模擴大，應收賬款規模總體上有所增加，2016-2018年，中微半導體應收賬款凈額分別為20,897.20萬元、46,038.82萬元及46,030.10萬元，占流動資產的比例分別為27.04%、26.11%及16.12%，下游客戶主要是全球一流半導體企業，信用狀況良好，應收賬款的回款總體情況良好。

光電子LED應用層出不窮 MOCVD設備行業增量空間巨大

近年來，隨著智能家居及智能照明的推動下，全球集成電路和以LED為代表的光電子器件的銷售額合計占所有半導體產品銷售額的90%以上，是半導體產品最重要的組成部分。目前國內半導體設備市場主要由歐美、日本等國家和地區的國際知名企業所占據，但隨著我國對集成電路及裝備業的重視程度和支持力度的持續增加，我國半導體設備行業技術水平不斷提高，國產設備在產品性價比、售后服務、地緣等方面的優勢逐漸顯現。

在持續旺盛的下游市場需求的推動下，半導體設備市場的晶圓廠和LED芯片制造商擴產積極，景氣程度向設備類公司傳導，刻蝕設備、MOCVD設備行業整體呈現快速增長態勢。LED產業鏈由襯底加工、LED外延片生產、芯片制造和器件封裝組成。該產業鏈中主要涉及的設備包括：襯底加工需要的單晶爐、多線切割機；制造外延片需要的MOCVD設備；制造芯片需要的光刻、刻蝕、清洗、檢測設備；封裝需要的貼片機、固晶機、焊線臺和灌膠機等。LED外延片的制備是LED芯片生產的重要步驟，與集成電路在多種核心設備間循環的制造工藝不同，主要通過MOCVD單種設備實現。MOCVD設備作為LED制造中最重要的設備，其采購金額一般占LED生產線總投入的一半以上，因此MOCVD設備的數量成為衡量LED制造商產能的直觀指標。

此外，目前MOCVD設備下游應用主要包括藍光LED，藍光LED則主要用于照明領域。藍光LED與熒光粉的組合促生了取代白熾燈、熒光燈的新一代照明市場。更值得注意的是，藍光LED和氮化鎵有密不可分的聯系，藍光LED研發取得突破的關鍵是科學家們找到了氮化鎵這種具有較大禁帶寬度的半導體材料，氮化鎵基LED促進了照明行業的發展。

目前MOCVD設備主要用于氮化鎵基及砷化鎵基半導體材料外延生長，其中氮化鎵基LEDMOCVD主要用于生產氮化鎵基LED的外延片。除藍光LED，MOCVD設備還可應用于綠光LED、紅光LED、深紫外LED，以及MiniLED、MicroLED、功率器件等諸多新興領域，MOCVD設備的市場規模會有望進一步擴大。

再加上，主流MOCVD設備反應腔的加工能力從31片4英寸外延片發展到34片4英寸外延片，現在行業主流廠商正在開發41片4英寸外延片超大反應器。制造紅黃光LED、紫外光LED、功率器件等都需要MOCVD設備，這些設備還有待進一步開發。MiniLED和MicroLED可能帶來的顯示器件革命孕育著更大的市場機會。

LED行業的新應用和新技術同樣層出不窮，除藍光LED外，紅黃光LED、深紫外LED以及MiniLED、MicroLED、第三代半導體功率器件等諸多新產品方興未艾，MiniLED和MicroLED具有高分辨率、高亮度、省電及反應速度快等特點，被視為新一代顯示技術，吸引蘋果、三星、LG、索尼等大型企業布局發展，以氮化鎵、碳化硅為代表的第三代半導體功率器件正在迅速取代部分硅功率器件，這些領域都需要MOCVD設備，將進一步擴大MOCVD設備的市場規模。

光電子LED產業中，以LED新型顯示為代表的新興產業，逐漸成為顯示行業追逐的熱點。當前新興的小間距LED顯示在物理拼縫、顯示效果、功耗、使用壽命方面均有優越表現，未來隨著MiniLED和MicroLED技術的進一步發展和完善，LED新型顯示產業有望成為繼LED照明產業后MOCVD應用產業發展最迅速的版塊之一。據統計，從2015年到2017年，中國LED下游各個子行業中LED顯示的市場規模為425億、549億、727億，年均復合增長率約為30.79%，高于LED其他細分應用領域。伴隨LED照明產品在照明行業的持續性滲透，LED新型顯示在顯示行業的替代性增長，未來LED行業逐步形成了雙輪驅動的發展模式，為MOCVD設備行業提供了增量空間。

責編：鄧蕊玲