文章轉(zhuǎn)載自：中微公司 

12月9日，中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司（以下簡(jiǎn)稱“中微公司”，上交所股票代碼：688012）宣布其MOCVD設(shè)備迎來(lái)又一里程碑：Prismo UniMax? MOCVD設(shè)備訂單超100腔。Prismo UniMax? MOCVD設(shè)備于今年6月正式發(fā)布，主要用于氮化鎵（GaN）基Mini LED外延片量產(chǎn)。Mini LED可被廣泛應(yīng)用于電視、筆記本電腦、平板電腦、桌面顯示器、車載顯示屏、戶外顯示屏等終端產(chǎn)品。

中微公司所開(kāi)發(fā)的Prismo UniMax? MOCVD設(shè)備憑借優(yōu)異的波長(zhǎng)均勻性、高能效和高產(chǎn)能等優(yōu)勢(shì)迅速獲得了市場(chǎng)認(rèn)可；專業(yè)及時(shí)的現(xiàn)場(chǎng)支持和客戶服務(wù)也是客戶看重的優(yōu)勢(shì)之一。產(chǎn)品正式發(fā)布半年內(nèi)取得超過(guò)100腔訂單，這一卓越里程碑進(jìn)一步鞏固了中微公司在MOCVD設(shè)備市場(chǎng)的領(lǐng)先地位。

Prismo UniMax? MOCVD設(shè)備專為高性能Mini LED量產(chǎn)而設(shè)計(jì)，通過(guò)創(chuàng)新的多區(qū)溫度調(diào)節(jié)系統(tǒng)，能精確控制托盤(pán)局部區(qū)域溫度，有助于更大程度上提升LED波長(zhǎng)均勻性。此外，優(yōu)化的噴淋頭設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)了更好的均勻性和產(chǎn)出穩(wěn)定性，新一代直流電源進(jìn)一步提升了電能轉(zhuǎn)化效率。

Prismo UniMax?具有行業(yè)領(lǐng)先的高產(chǎn)能和生產(chǎn)靈活性。設(shè)備配置了785mm大直徑石墨托盤(pán)，通過(guò)石墨托盤(pán)的不同設(shè)計(jì)，最多可以同時(shí)加工164片4英寸或72片6英寸外延晶片，能提高產(chǎn)能并有效降低Mini LED生產(chǎn)成本。Prismo UniMax?在同一系統(tǒng)中可配備多達(dá)4個(gè)反應(yīng)腔，每個(gè)反應(yīng)腔都可以獨(dú)立控制。

Prismo UniMax?是中微公司MOCVD設(shè)備系列的最 新產(chǎn)品，該系列產(chǎn)品還包括Prismo D-BLUE?、Prismo A7?和Prismo HiT3?。2013年，Prismo D-BLUE?作為當(dāng)時(shí)國(guó)內(nèi)率先自主研發(fā)制造的量產(chǎn)型MOCVD設(shè)備正式發(fā)布。此后，公司相繼發(fā)布Prismo A7?和Prismo HiT3?產(chǎn)品。如今，中微公司的MOCVD設(shè)備在行業(yè)內(nèi)主要的LED生產(chǎn)線上全面投入量產(chǎn)。

中微公司執(zhí)行副總裁兼首席運(yùn)營(yíng)官杜志游博士認(rèn)為，Prismo UniMax?被客戶迅速采用主要?dú)w功于中微公司在MOCVD設(shè)備和工藝領(lǐng)域的持續(xù)創(chuàng)新，并與領(lǐng)先客戶保持密切合作。“隨著客戶進(jìn)一步拓展新的應(yīng)用，我們很自豪能通過(guò)極具競(jìng)爭(zhēng)力的技術(shù)解決方案，來(lái)滿足客戶Mini LED大規(guī)模量產(chǎn)的需求。這一里程碑充分證明了我們Prismo系列MOCVD設(shè)備的性能優(yōu)勢(shì)，以及我們?cè)诳蛻艉献髦畜w現(xiàn)的值得信賴的專業(yè)技能。”

Prismo D-BLUE?, Primo A7?, Prismo HiT3? and Prismo UniMax? 是中微公司的注冊(cè)商標(biāo)。

關(guān)于中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司

中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司（證券簡(jiǎn)稱：中微公司，證券代碼：688012）致力于為全球集成電路和LED芯片制造商提供領(lǐng)先的加工設(shè)備和工藝技術(shù)解決方案。中微公司開(kāi)發(fā)的等離子體刻蝕設(shè)備和化學(xué)薄膜設(shè)備是制造各種微觀器件的關(guān)鍵設(shè)備，可加工微米級(jí)和納米級(jí)的各種器件。這些微觀器件是現(xiàn)代數(shù)碼產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ)，它們正在改變?nèi)祟惖纳a(chǎn)方式和生活方式。中微公司的等離子體刻蝕設(shè)備已被廣泛應(yīng)用于國(guó)際一線客戶從65納米到5納米及更先進(jìn)工藝的眾多刻蝕應(yīng)用，中微公司開(kāi)發(fā)的用于LED和功率器件外延片生產(chǎn)的MOCVD設(shè)備已在客戶生產(chǎn)線上投入量產(chǎn)，目前已在全球氮化鎵基LED MOCVD設(shè)備市場(chǎng)占據(jù)領(lǐng)先地位。