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澳洋順昌涉足藍(lán)寶石襯底切磨拋領(lǐng)域初見成果

類別:行業(yè)新聞發(fā)表于:2019-08-15 16:35
關(guān)鍵字:澳洋順昌 藍(lán)寶石

摘要:經(jīng)過一年多與PSS、外延和芯片端的工藝窗口磨合與匹配,不斷優(yōu)化平片的Bow/Warp/TTV/LTV等指標(biāo)參數(shù),已于2019年年初實(shí)現(xiàn)批量化生產(chǎn)。在穩(wěn)定量產(chǎn)的基礎(chǔ)上,澳洋順昌開發(fā)出一套統(tǒng)一面型的切磨拋工藝技術(shù),大幅度提升了公司藍(lán)寶石襯底在PSS和外延端的良率水平,同時(shí), LED外延片的波長命中率與一致性、芯片主BIN良率、光效、以及成本控制等方面均達(dá)到業(yè)內(nèi)較好水平。

盡管氮化鎵(GaN)基LED在景觀照明、室內(nèi)照明、道路照明、背光源等應(yīng)用領(lǐng)域已經(jīng)成熟,Mini/Micro LED高清顯示的應(yīng)用領(lǐng)域也正在培育,并呈現(xiàn)了迅猛發(fā)展的勢頭。然而,經(jīng)過二十多年的發(fā)展,業(yè)界一直最為關(guān)注的核心依舊是LED光效與成本。


上游襯底材料是直接影響著中下游外延、芯片和封裝器件性能的關(guān)鍵。


縱觀全球GaN基LED材料體系,目前已經(jīng)使用的襯底材料包括藍(lán)寶石、碳化硅(SiC)、硅(Si)和GaN。


其中,SiC襯底及技術(shù)被美國Cree公司所壟斷;由南昌大學(xué)江風(fēng)益教授發(fā)明的Si基LED技術(shù)榮獲2015年國家技術(shù)發(fā)明一等獎,但因量產(chǎn)工藝成熟度等因素,業(yè)界對Si襯底仍保持觀望態(tài)度;GaN襯底更是因技術(shù)成熟度和成本因素,目前僅應(yīng)用在高端激光與功率器件等領(lǐng)域。


由于SiC、Si、GaN等襯底技術(shù)路線均有著其成熟度、成本等因素制約而無法在短期內(nèi)批量應(yīng)用,而全球藍(lán)寶石襯底產(chǎn)業(yè)規(guī)模已非常龐大,廠家難以在短期內(nèi)進(jìn)行材料體系的更新?lián)Q代,多種原因決定了在一個(gè)較長的時(shí)期內(nèi)沒有其他材料能直接替代藍(lán)寶石襯底在LED行業(yè)的應(yīng)用。


基于提升企業(yè)綜合競爭力的考慮,2018年澳洋順昌又成立藍(lán)寶石襯底切磨拋項(xiàng)目部,通過組建技術(shù)團(tuán)隊(duì)、健全工藝/設(shè)備/生產(chǎn)/品質(zhì)的管控體系、開發(fā)切/磨/拋整套制程工藝,為企業(yè)個(gè)性化產(chǎn)品的研發(fā)和制造增加了可能。


經(jīng)過一年多與PSS、外延和芯片端的工藝窗口磨合與匹配,不斷優(yōu)化平片的Bow/Warp/TTV/LTV等指標(biāo)參數(shù),已于2019年年初實(shí)現(xiàn)批量化生產(chǎn)。在穩(wěn)定量產(chǎn)的基礎(chǔ)上,澳洋順昌開發(fā)出一套統(tǒng)一面型的切磨拋工藝技術(shù),大幅度提升了公司藍(lán)寶石襯底在PSS和外延端的良率水平,同時(shí), LED外延片的波長命中率與一致性、芯片主BIN良率、光效、以及成本控制等方面均達(dá)到業(yè)內(nèi)較好水平。

QQ截圖20190815163501.jpg

澳洋順昌開發(fā)的藍(lán)寶石襯底“碗狀”面型分布


02.jpg

在7mm×7mm面積內(nèi)的LTV值<0.5 um


目前澳洋順昌已涉及切磨拋藍(lán)寶石襯底、PSS、外延和LED芯片整條產(chǎn)業(yè)鏈,通過對產(chǎn)業(yè)鏈上下游垂直整合,有效地提升了整個(gè)LED制程環(huán)節(jié)的適配度,從而顯著提升LED性能的同時(shí)降低制造成本,提升了企業(yè)的綜合競爭力。

來源:澳洋順昌

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