近日，中微半導體設備（上海）股份有限公司舉行“20周年盛會華章暨臨港基地落成慶典”，同時，中微公司臨港產業化基地宣布正式啟用。

   據了解，該基地項目總投資16.7億元，占地157畝，總建筑面積約18萬平方米，配備行業領先的實驗室、業界高標準的潔凈室、先進的生產車間及智能化立體倉庫等設施，可實現生產全程數字化、智能化管理，為中微最大的生產制造基地。

圖源：中微公司

   中微公司，致力于為全球集成電路和LED芯片制造商提供領先的加工設備和工藝技術解決方案，據官微信息顯示，到2024年中微公司累計已有超5000個反應臺在國內外130多條生產線實現量產。

   產品方面，等離子體刻蝕設備已被廣泛應用；用于LED和功率器件外延片生產的MOCVD設備已在客戶生產線上投入量產，目前已在全球氮化鎵基LED MOCVD設備市場占據優勢地位。

   此外，中微公司表示，目前，位于滴水湖畔的中微臨港總部暨研發大樓也正在建設中，建成后占地面積約10萬平方米，加上已投入使用的14萬平方米南昌生產研發基地，未來，中微公司的生產和研發基地總面積將達到約45萬平方米。