三星終止8代垂直蒸鍍OLED研發線，愛發科已拆除設備

近日，日本真空設備制造商愛發科拆除了安裝在京畿道平澤Hyungok工廠的第八代垂直OLED蒸鍍設備。該設備由三星顯示通過與愛發科的聯合投資制造，以驗證垂直蒸鍍工藝。行業人士認為，未來，不太可能在韓國引入垂直蒸鍍技術的大規模生產，并且被解釋為該項目已完全終止。

蒸鍍工藝是OLED制造的核心工藝之一，制約著OLED的良率和產能。根據精密金屬掩膜板(FMM)放置方向，蒸鍍工藝可分為水平蒸鍍以及垂直蒸鍍。當前，主流的OLED工藝包括水平蒸鍍+FMM（Fine Metal Mask） LTPS OLED、水平蒸鍍+OMM（Open Metal Mask） WOLED、水平蒸鍍+OMM QD OLED。

不過，水平蒸鍍工藝并不完美，一直存在“重力下垂”的技術瓶頸。據介紹，FMM是超薄的金屬遮罩，當水平放置時，在重力的作用下FMM中間與邊緣存在一定的偏移量，而且FMM尺寸越大偏移的幅度越明顯。這不利于提高AMOLED的PPI，使混色良率降低，大幅提高了AMOLED生產成本。

而垂直蒸鍍工藝最大的優點就能避免水平蒸鍍工藝FMM“重力下垂”帶來的干擾。垂直蒸鍍工藝則將FMM垂直放置，FMM和玻璃基板形變小，蒸鍍更均勻，像素位置精度(PPA)更高，混色更小，同時可以提升分辨率，降低功耗、成本，成為一個重要的蒸鍍工藝制程方向。

當前，只有JDI擁有一條垂直蒸鍍工藝低世代量產線，主要用于生產手表用的OLED。JDI表示，垂直方式蒸鍍設備所占面積相比目前的水平方式蒸鍍設備的減少30%。業內人士也向WitDisplay透露，JDI為蘋果手表供應的OLED就是采用垂直蒸鍍工藝生產的。

如果FMM從水平位置變成垂直位置，這種“超薄平板中心凹陷”的重力效應就基本會消失——但是，媒體報道也指出“業內沒有垂直沉積的經驗可循”，垂直沉積方式，是不是面臨更多的材料、設備和OLED凝華力學變化等諸多方面的新問題。