邁為股份向天馬供應Micro LED巨量轉移設備

文章轉載自：亞威資訊

12月26日，天馬新型顯示技術研究院（廈門）有限公司舉行首臺設備搬入儀式，搬入的設備為Micro LED巨量轉移設備，由邁為股份自主研發、設計、制造。該設備采用激光巨量轉移技術，利用特殊整形后的方形勻化光斑，結合高速度高精度振鏡掃描，可以實現高效率及高品質的加工，將微米級Micro LED晶粒批量轉移到目標基板上。

Micro LED巨量轉移設備是Micro LED制程中的核心裝備及高價值裝備之一，是影響Micro LED良率與制造成本的關鍵。在前期的產品驗證階段，邁為股份和天馬新型顯示技術研究院基于各自的專業領域攜手合作，邁為從整線設備方案出發優化設備結構設計與激光工藝技術，天馬新型顯示技術研究院從芯片與膠材開發方面提升工藝窗口，最終成功實現大范圍三色拼接轉移驗證，且轉移后無明顯塵粒（particle），落位精度及偏轉角度均達到行業領先水平。今年6月30日，雙方就此款設備達成采購訂單。

除Micro LED巨量轉移之外，邁為還與天馬新型顯示技術研究院在激光剝離、激光鍵合設備及工藝領域協力開發，致力于共同開創基于TFT（薄膜晶體管）技術的Micro LED技術新紀元。