蔚華科攜手南方科技,加速Micro LED等光學檢測技術商業化
類別:企業動態發表于:2023-12-04 13:28
摘要:蔚華科11月28日宣布,與旗下南方科技合作,推出非破壞性缺陷檢測系統,搶攻化合物半導體檢測商機。蔚華科指出,與南方科技合作推出非破壞性缺陷檢測系統后,未來將加速將南方科技在Micro LED、硅光子等先進光學檢測技術的商業化。
蔚華科11月28日宣布,與旗下南方科技合作,推出非破壞性缺陷檢測系統,搶攻化合物半導體檢測商機。蔚華科表示,現行的碳化硅(SiC)檢測方式是將晶錠切片,取上、下兩片基板進行破壞性氫氧化納(KOH)蝕刻檢測。
蔚華科指出,與南方科技合作的非破壞性缺陷檢測系統,是采用非線性光學技術,掃描碳化硅基板,找出基板內部的晶體缺陷,每個晶錠可以省下兩片用以檢測的基板。此外,蔚華科還表示,相關檢測系統可以全面檢測晶錠,進行晶錠分析和批次追蹤分析,有助改善制程、提升產量。
蔚華科指出,與南方科技合作推出非破壞性缺陷檢測系統后,未來將加速將南方科技在Micro LED、硅光子等先進光學檢測技術的商業化。
來源:屏顯世界
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