蔚華科攜手南方科技，加速Micro LED等光學檢測技術商業化
類別：企業動態發表于：2023-12-04 13:28
摘要：蔚華科11月28日宣布，與旗下南方科技合作，推出非破壞性缺陷檢測系統，搶攻化合物半導體檢測商機。蔚華科指出，與南方科技合作推出非破壞性缺陷檢測系統后，未來將加速將南方科技在Micro LED、硅光子等先進光學檢測技術的商業化。
蔚華科11月28日宣布，與旗下南方科技合作，推出非破壞性缺陷檢測系統，搶攻化合物半導體檢測商機。蔚華科表示，現行的碳化硅（SiC）檢測方式是將晶錠切片，取上、下兩片基板進行破壞性氫氧化納（KOH）蝕刻檢測。
蔚華科指出，與南方科技合作的非破壞性缺陷檢測系統，是采用非線性光學技術，掃描碳化硅基板，找出基板內部的晶體缺陷，每個晶錠可以省下兩片用以檢測的基板。此外，蔚華科還表示，相關檢測系統可以全面檢測晶錠，進行晶錠分析和批次追蹤分析，有助改善制程、提升產量。
蔚華科指出，與南方科技合作推出非破壞性缺陷檢測系統后，未來將加速將南方科技在Micro LED、硅光子等先進光學檢測技術的商業化。
來源：屏顯世界
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