Micro LED，顧名思義就是指特別小的LED，又稱微型發光二極管，一般指使用尺寸為1~60μm的LED發光單元組成顯示陣列的技術，其大小相當于人頭發絲的1/10。

因此，從制造工藝來說，Micro LED是將LED結構設計進行薄膜化、微小化、陣列化，然后批量式轉移至電路基板上，其基板可為硬性、軟性以及透明、不透明基板。最終經過物理沉積完成保護層與上電極。大家都知道，阻礙Micro LED規模量產的最大癥結就是巨量轉移，目前產業界正在對此進行積極探索，近來更是捷報頻傳。

大族激光已研發出關鍵設備

近日，大族激光在接受投資者調研時稱，在Micro LED領域，公司同步推進在MIP、COB封裝路線的布局，已經研發出Micro LED巨量轉移、Micro LED巨量焊接、Micro LED修復等設備，市場驗證反映良好。

在更早之前，大族激光表示，該公司的激光巨量轉移路線是基于Micro LED芯粒的COG封裝，該技術路線具有更高的效率，更低的成本。根據大族激光的官網信息，該公司能夠提供的LED設備包括激光表切、激光改質切割、mini LED修復和巨量轉移等多種設備，LED行業市場占有率90%以上。目前，LED激光剝離機和LED步進式光刻機是該公司的明星產品。

德龍激光設備可實現3色RGB多種轉移方式

今年8月份，有投資者在投資者互動平臺向德龍激光提問：請問能否介紹一下公司巨量轉移技術的相關參數，比如良率，UPH，精度？

對此，德龍激光在投資者互動平臺表示，德龍激光巨量轉移設備可實現3色RGB自動轉移，直接轉移/間接轉移功能。4-8寸范圍內轉移后產品位置精度小于±1μm，角度小于±1°，目前主流產品轉移良率可實現99.9%，UPH可達到3600萬顆/小時。

官網信息顯示，德龍激光已經擁有Micro LED激光玻璃設備和Micro LED巨量轉移設備。其中，該公司的Micro LED巨量轉移設備不僅可以保證激光巨量轉移過程中不對芯片造成損傷，而且還保Micro LED轉移落點精準并可按照需求設置轉移后Micro LED芯片陣列排布，并可以結合AOI&PL機臺mapping圖，高速準確選擇性轉移ok片。應用領域方面，這款設備可應用于新型顯示行業的激光巨量轉移，通過直轉/二次轉移等方式將三色芯片轉移到基板上。

海目星設備已實現50μm內芯片應用需求

今年6月份，海目星在投資者互動平臺表示，Micro/Mini LED激光巨量轉移設備已實現50μm內芯片應用需求。

根據海目星官網介紹，該公司應用于新型顯示的設備主要有四大優勢：其一是高性能激光器，自主研發的先進激光器，光束質量好；其二是超高加工精度，高精度的微米級運動平臺集成，實現微納米量級的加工水平；其三是智能控制系統，全自動智能程序設計簡單，精度穩定效率高；其四是自主光學設計，自主研發的光學設計能力，可對應不同應用場景需求，形成核心競爭力。

其他巨量轉移技術進展

除了激光設備方面的進展以外，產業界在Micro LED方面的技術攻關還包括高校研究以及產線整合等。

其中，在高校研究方面，香港科技大學已經研發出全彩Micro LED制作新技術，可利用InGaN和AlGaInP半導體材料的異質集成實現全彩Micro LED顯示器。研究人員表示，新技術與多堆棧晶圓鍵合或顏色轉換等現有技術相比，其簡化了制造流程。

謝菲爾德大學已經研發出外延生長Micro LED技術，這是一種Micro LED制造新方法。該技術允許在外延生長過程中直接形成Micro LED，而不是使用傳統的蝕刻工藝。新技術避免等離子體損壞，顯著提高Micro LED的性能和功能。研究團隊表示CSE技術可有效解決Micro LED面臨的多項生產挑戰。

在產線整合方面，友達光電已經宣布量產Micro LED手表面板。未來，廠商計劃采用8英寸晶圓來生產Micro LED，這有望顯著降低制造成本。此外，在巨量轉移方面，過去幾年，印章轉移技術被廣泛采用，盡管效率不錯，但良率略顯不足。然而，最近業界開始傾向于激光轉移技術，因為它具有更高的良率。也就是說，上述提到的激光轉移設備有望將Micro LED量產節奏提前。

另外，三星89英寸與110英寸Micro LED顯示屏已經開始發售。三星視覺顯示部門MICRO LED團隊副總裁孫泰龍表示，經過六年的持續研發，三星已經掌握了將每個獨立模塊完美集合成一個整體的技術，從而制造出了各種尺寸的Micro LED顯示屏。

結語

研調機構TrendForce預估，2023年Micro LED芯片產值將高達2700萬美元，同比增長92%。隨著現有應用出貨規模放大，加上新應用的加入，預期2027年Micro LED芯片產值近6億美元。很顯然，激光轉移設備的突破將會讓Micro LED發展換擋提速。