2月27日，中微公司發布業績快報。

公告顯示，中微公司2022年營業收入約47.40億元，較2021年增加約16.32億元，同比增長52.50%；實現歸母凈利潤約11.70億元，同比增長15.66%；實現扣非歸母凈利潤9.20億元，同比增加183.44%。

其中，中微公司2022 年新簽訂單金額約63.2億元，較2021年增加約21.9億元，同比增加約53%，訂單銷售比達到 1.33。

中微公司表示，其主打產品等離子體刻蝕設備是除光刻機外最關鍵、工藝難度最 高的半導體前道加工設備，等離子體刻蝕設備在國內外持續獲得更多客戶的認可，市場占有率不斷提高，在國際最先進的5納米芯片生產線及下一代更先進的生產線上均實現了多次批量銷售。

Mini/Micro LED方面，中微公司另一個主打產品MOCVD設備在新一代Mini LED產業化中，在藍綠光LED生產線上取得了絕對領先地位；正在開發的用于氮化鎵和碳化硅功率器件的外延設備，以及制造Micro LED的MOCVD專用設備，將陸續推向市場。