近日，Micro LED方面，德國半導體企業AIXTRON （愛思強）、韓國LED制造商LUMENS皆傳來新進度。

   其中，愛思強推出首款全自動AsP平臺-G10 AsP，LUMENS宣布已開發出用于Micro LED顯示器生產的單片RGB外延晶圓。

   愛思強推出首款全自動AsP系統-G10 AsP

   1月26日，愛思強（AIXTRON SE）向市場推出首款全自動AsP系統，即G10-AsP，該系統將于2月1日在Photonics West展會上正式發布。

   據愛思強介紹，新的G10-AsP系統滿足了Micro LED和激光元件領域不斷增長的需求，可實現穩健的大規模生產，Micro LED的真正量產將成為現實。

   據悉，新型全自動G10-AsP是愛思強投放市場的最大的200mm AsP批次反應器，配備原位清洗和自動盒式到盒式 (C2C) 晶圓裝載。

   其前端首次可以配備SMIF（標準機械接口）吊艙，以進一步減少外延晶圓對室內環境的暴露。借助內置的原位清潔功能，用戶可以根據需要重新設置腔室條件——無論是在滿足最苛刻要求的每個工藝運行之后，還是在生產活動之后。

   此外，G10-AsP系統基于成功的Planetary Reactor? 技術，可將多晶圓間歇式反應器概念與單晶圓旋轉相結合，以確保最 高的晶圓均勻性。

   Lumens開發單片堆疊RGB Micro LED外延片技術

   1月24日，Lumens宣布已開發出用于Micro LED顯示器生產的單片RGB外延晶圓，新技術將三種顏色的LED堆疊在晶圓上的另一個之上。

   堆疊式Micro LED架構提高了性能，同時也提高了傳輸過程的效率。該公司表示，其設計將顯著降低生產成本——尤其是轉移過程，將其減少到三分之一（就轉移步驟的數量而言），同時還可以從單個晶圓上完成所有過程。

   為了開發這項技術，該公司開發了一種InGaN紅色材料，這種材料與紅色和綠色LED的材料相同，可以更容易地堆疊在同一晶圓上，易于加工，有利于單片生產。

   Lumens稱，Micro LED外延片可用于實現Micro LED電視和擴展現實（XR）設備，并計劃推進商業化，計劃將Micro LED培育成新的增長引擎。