中微半導(dǎo)體 Veeco專利侵權(quán)案 沒你想的那么簡單

    11月2日，美國法院同意了Veeco公司（美國維易科公司）針對SGL公司的一項初步禁令請求，禁止SGL公司給中國本土企業(yè)中微半導(dǎo)體（AMEC）生產(chǎn)的MOCVD生產(chǎn)設(shè)備提供石墨盤。

   MOCVD設(shè)備目前在全球只有兩大供應(yīng)商，Veeco和中微半導(dǎo)體，兩家各占一半的市場份額，Veeco的禁令請求將使得中微半導(dǎo)體短時間內(nèi)無法獲得SGL的石墨盤，必然會影響MOCVD設(shè)備的生產(chǎn)，當(dāng)然Veeco也無法在短時間內(nèi)填補中微半導(dǎo)體的市場，甚至都影響到了下游LED芯片生產(chǎn)商的生產(chǎn)。

   SGL公司是中微半導(dǎo)體的晶圓承載器供應(yīng)商。該禁令禁止SGL出售供采用了Veeco專利技術(shù)的無基座金屬有機化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(MOCVD)使用的晶圓承載器，包括專為AMEC MOCVD系統(tǒng)設(shè)計的晶圓承載器。

    這一裁決顯示了SGL和中微半導(dǎo)體侵犯Veeco知識產(chǎn)權(quán)的明確性質(zhì)。

   11月24日，中微半導(dǎo)體傳來了好消息：國家知識產(chǎn)權(quán)局專利復(fù)審委于作出審查決定書，否決了維易科精密儀器國際貿(mào)易上海有限公司（Veeco上海）關(guān)于中微專利無效的申請，確認中微起訴Veeco上海專利侵權(quán)的涉案專利為有效專利。

  中微稱，中微開發(fā)相關(guān)技術(shù)、并在一系列相關(guān)專利申請布局后數(shù)年，Veeco美國公司才隨之應(yīng)用相同技術(shù)解決方案。在中微申請該涉案專利之后，Veeco美國公司針對該關(guān)鍵技術(shù)也提交了相近的專利申請，并使用于其EPIK 700產(chǎn)品上，由此侵犯了中微的專利權(quán)。

    Veeco美國公司在美國紐約東區(qū)地方法院對中微的基片托盤供應(yīng)商提起專利侵權(quán)訴訟，而法院法官在未能有機會全面了解專利無效證據(jù)、未對Veeco美國的專利有效性和基片托盤是否真正侵權(quán)作出明確判斷的情況下，極其罕見地發(fā)出了禁止基片托盤供應(yīng)商給中微提供托盤的臨時禁運令。中微正在采取多項有效措施全力減少禁令的影響。

    重點要提的是， Veeco公司也在積極布局micro-LED。

   11月1日Veeco和ALLOS Semiconductors達成了一項戰(zhàn)略舉措，展示了200mm硅基氮化鎵晶圓用于藍/綠光micro-LED 的生產(chǎn)。Veeco和ALLOS合作將其專有外延技術(shù)轉(zhuǎn)移到 Propel單晶圓MOCVD系統(tǒng)，從而在現(xiàn)有的硅生產(chǎn)線上實現(xiàn)生產(chǎn)micro-LED。

　　Micro-LED顯示技術(shù)由<30x30平方微米的紅、綠和藍(RGB)無機LED組成，這些LED被轉(zhuǎn)化為顯示屏背板，以形成亞像素。Micro-LED 的制造要求優(yōu)質(zhì)、均勻的外延晶圓，以滿足顯示屏的產(chǎn)量和成本控制的要求。

　　“使用Propel反應(yīng)腔的MOCVD技術(shù)，能夠?qū)崿F(xiàn)高產(chǎn)量的GaN外延，滿足在200毫米硅生產(chǎn)線上生產(chǎn)micro-LED器件的所有要求，” ALLOS Semiconductor的首席執(zhí)行官Burkhard Slischka 這樣說。

　　“不到一個月時間我們就已經(jīng)在Propel上對我們的技術(shù)進行了驗證，并且獲得了無裂紋、無回熔的晶圓，翹曲度低于30微米，晶體質(zhì)量高，厚度均勻性優(yōu)異，波長均勻性小于1納米。”Veeco和ALLOS正計劃著將該技術(shù)在micro-LED產(chǎn)業(yè)中推廣。

　　“和競爭對手的MOCVD系統(tǒng)相比， Veeco的TurboDisc技術(shù)提供的制程窗口更大，因此Propel能提一流的均勻性同時還能獲得優(yōu)良的膜品質(zhì)。將Veeco領(lǐng)先的MOCVD專業(yè)技術(shù)和 ALLOS的硅基氮化鎵外延晶片技術(shù)相結(jié)合，使我們客戶能夠開發(fā)出低成本的micro-LED，以便于在新的市場中開拓新的應(yīng)用。”Veeco高級副總裁兼MOCVD運營總經(jīng)理Peo Hansson博士這樣說。