北方華創(chuàng)“晶圓卡盤(pán)和晶圓加工方法”專(zhuān)利公布
類(lèi)別：行業(yè)新聞發(fā)表于：2024-07-23 09:45
摘要：北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司“晶圓卡盤(pán)和晶圓加工方法”專(zhuān)利公布，申請(qǐng)公布日為2024年7月16日，申請(qǐng)公布號(hào)為CN118352289A。
天眼查顯示，北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司“晶圓卡盤(pán)和晶圓加工方法”專(zhuān)利公布，申請(qǐng)公布日為2024年7月16日，申請(qǐng)公布號(hào)為CN118352289A。
本發(fā)明提供了一種晶圓卡盤(pán)和晶圓加工方法，涉及晶圓的刻蝕技術(shù)技術(shù)領(lǐng)域，為解決翹曲的晶圓在等離子刻蝕時(shí)易放電打火的問(wèn)題而設(shè)計(jì)。晶圓卡盤(pán)包括邊緣卡盤(pán)和中心卡盤(pán)，邊緣卡盤(pán)分布在中心卡盤(pán)的至少一個(gè)徑向的外側(cè)，邊緣卡盤(pán)傳動(dòng)連接有邊緣卡盤(pán)驅(qū)動(dòng)裝置以調(diào)節(jié)邊緣卡盤(pán)的高度。本發(fā)明提供的晶圓卡盤(pán)可以避免晶圓的邊緣打火受損。
來(lái)源：愛(ài)集微
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