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斯特拉斯克萊德大學的研究人員開發出連續滾筒MicroLED轉印工藝

類別:技術與產品發表于:2023-07-20 10:42

摘要:英國斯特拉斯克萊德大學的研究人員在 Eleni Margariti 博士的帶領下,基于連續單次滾筒轉印工藝開發了一種新的 Micro LED 轉印工藝。

英國斯特拉斯克萊德大學的研究人員在 Eleni Margariti 博士的帶領下,基于連續單次滾筒轉印工藝開發了一種新的 Micro LED 轉印工藝。

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研究人員表示,這一工藝可以實現 Micro LED 的大規模集成。他們開發的系統可以單次傳輸 320x240 像素陣列(超過 75,000 個Micro LED),相對位置精度達到亞微米級。

轉移印刷過程保留了陣列幾何形狀,像素空間位置誤差與設計布局的偏差小于 1 μm。 研究人員還采用了基于簡單光學顯微鏡的自動化亞微米精密計量系統,來評估如此龐大的器件群并評估良率。

來源:《光學材料快報》

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