巨量轉(zhuǎn)移又突破：單次可轉(zhuǎn)7.5萬顆MicroLED

英國斯特拉思克萊德大學(xué)近期宣布開發(fā) MicroLED 新型巨量轉(zhuǎn)移技術(shù)，透過連續(xù)滾輪轉(zhuǎn)移技術(shù)，可精準(zhǔn)轉(zhuǎn)移超 7.5 萬顆 MicroLED，團(tuán)隊(duì)也對(duì)轉(zhuǎn)移數(shù)量、良率開發(fā)自動(dòng)量測系統(tǒng)。

團(tuán)隊(duì)指出，滾輪轉(zhuǎn)移制程可實(shí)現(xiàn) MicroLED 的巨量移轉(zhuǎn)，一次轉(zhuǎn)移中可轉(zhuǎn)移一個(gè) 320x240 畫素陣列，約 7.5 萬顆以上的 MicroLED，相對(duì)位置精度達(dá)亞微米級(jí) (Submicron)，且能夠保持畫素陣列的幾何結(jié)構(gòu)，定位誤差、設(shè)計(jì)偏差控制 1μm 以下。

另外，團(tuán)隊(duì)還采用簡單光學(xué)顯微鏡的自動(dòng)亞微米級(jí)精準(zhǔn)計(jì)量系統(tǒng)，用來評(píng)估大規(guī)模數(shù)量的零件，同時(shí)還可以評(píng)估良率。

除了 MicroLED 巨量轉(zhuǎn)移，該制程還可用于其他類型的設(shè)備，包括硅制程、PCB，同時(shí)也可在太陽能設(shè)備制造、藥物輸送系統(tǒng)、生物傳感器和組織工程等生物醫(yī)學(xué)應(yīng)用中采用。