由廣東省科技廳組織的大陸首個量產(chǎn)型MOCVD設(shè)備科技成果鑒定會在佛山南海舉行。該設(shè)備通過了來自清華大學(xué)、南京大學(xué)、中科院半導(dǎo)體所等機(jī)構(gòu)11名業(yè)界專家的科技成果評審。

    專家組組長、中科院院士鄭有炓說，該設(shè)備打破了此前MOCVD全部依靠進(jìn)口的局面，LED產(chǎn)品價格有望大幅下降。LED產(chǎn)業(yè)是當(dāng)前廣東發(fā)展戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)的三大突破口之一。LED產(chǎn)品價格一直居高不下的一個重要原因，就是LED芯片的生產(chǎn)設(shè)備MOCVD進(jìn)口費(fèi)用高昂導(dǎo)致。

    “我們37片生產(chǎn)型MOCVD設(shè)備定價約為950萬，比國外進(jìn)口價格減少了一半。”作為項(xiàng)目研發(fā)合作團(tuán)隊(duì)專家，華中科技大學(xué)教授甘志銀表示。據(jù)悉，該設(shè)備由廣東昭信集團(tuán)、昭信半導(dǎo)體裝備公司及華中科技大學(xué)共同研發(fā)，目前已有4家外延廠家到昭信半導(dǎo)體公司進(jìn)行試用。